DADIAN IGC系列氬離子槍電源產(chǎn)生高能電場(chǎng)，使得惰性氣體離子化并加速到高能狀態(tài)，撞擊固體表面而實(shí)現(xiàn)濺射刻蝕。其離子束流可聚焦，廣泛應(yīng)用于清潔表面從而進(jìn)行表面分析、光電子能譜及濺射蒸鍍。常見于表面分子、光電子能譜實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體科研、真空濺射蒸鍍等應(yīng)用中。

輸入
115Vac/220Vac±10%，50/60Hz，需在訂單中確定
 

輸出
分500V、1000V、1500V、2000V四檔輸出
 
紋波
< 0.05%
 

電壓調(diào)節(jié)率
負(fù)載：全負(fù)載擾動(dòng)情況下，最大電壓的0.01%
線路：輸入電壓改變±10%情況下，最大電壓的±0.01%
 

直流燈絲
電流：3A，可調(diào)
電壓：5V（特殊要求需要訂制）
紋波：< 0.05%
 

發(fā)射電源
180V，最大100mA
紋波：< 0.05%
 

聚焦電源
電壓：0～2000V
紋波：< 0.05%
 

溫度系數(shù)
電壓或電流調(diào)節(jié)：100ppm/℃。可提供高穩(wěn)定度規(guī)格
 

環(huán)境溫度
操作溫度：0℃～50℃
存儲(chǔ)溫度：-40℃～85℃
 

穩(wěn)定性
電壓、電流調(diào)節(jié)預(yù)熱半小時(shí)后：100ppm/小時(shí)
 

輸出電纜
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證高壓BNC電纜和接頭
 

外形尺寸
200W：48.3×48.5×13.2cm
 

重量
12～14kg